Сверхчисто. Мало частиц. Готово для фабрики. Обращение по ISO 8.

В заказах для полупроводниковой отрасли очистка и упаковка по ISO 8, то есть класса 100 000, входят в стандарт. Если требуется ISO 7, класс 10 000, или выше, окончательную очистку мы отдаём профильным специалистам — партнёрам вроде Oneida или Entegris. Детали напоследок промывают деионизированной водой, ополаскивают изопропиловым спиртом и упаковывают в двойной чистый нейлоновый пакет, чтобы уберечь от частиц.

Да. Алюминий полупроводникового класса — с жёстким контролем примесей меди, железа и кремния, от которых зависит поведение частиц, — мы берём на аттестованных заводах, с полной прослеживаемостью и сертификатами плавки. Для камер травления достаём и плазмостойкие марки вроде 6061-T6 сверхвысокой чистоты либо анодированные, чтобы частиц было меньше.

Кварц и плавленый кварц обрабатывают за нас партнёры, специализирующиеся на стекле; сами мы кварц не режем. Зато мы постоянно делаем металлическую оснастку, на которой кварцевые детали держатся: столики, рамы, прижимы и газораспределительные пластины. Сборки из стекла и металла ведём по одному заказу.

Для нас это обычная работа. Шасси из обработанного алюминия или листового металла с экранирующими уплотнениями — пружинными контактами и токопроводящим эластомером, — сплошным электрическим соединением по всем швам и исполнением в виде клетки Фарадея там, где аппаратура чувствительна к радиочастотам. Для внутренних поверхностей есть токопроводящие краски и покрытия: химический никель, цинк.

Да, и это у нас постоянная работа. Экраны технологических камер, вкладыши и жертвенные детали изнашиваются, их приходится время от времени менять. Мы храним файлы CAD для повторных заказов и отгружаем замену за две-три недели с неизменным качеством. Есть анодированный алюминий, нержавеющая 316L и плазмостойкие покрытия.

Да. Шероховатость, снятие заусенцев и выбор материала целиком определяют, как ведут себя частицы в технологической камере. Мы назначаем: равномерно обработанные стеклошариками поверхности вместо полированных, ведь полировка может оставлять крупинки абразива; пассивированную нержавейку, чтобы убрать свободное железо; анодированный алюминий с твёрдым слоем против задиров; и химический никель на деталях, чувствительных к частицам. Всё это записано в маршрутной карте детали.