Ultralimpo. Baixo em partículas. Pronto para a fábrica. Manuseamento ISO 8.

Nas encomendas de semicondutores incluímos de série a limpeza e a embalagem conforme a ISO 8, ou seja, Classe 100 000. Se se exigir ISO 7, Classe 10 000, ou melhor, recorremos a especialistas em limpeza para semicondutores — parceiros como a Oneida ou a Entegris — para a limpeza final. As peças são lavadas com água desionizada, enxaguadas com álcool isopropílico e ensacadas em duplo saco de nylon limpo para evitar a contaminação por partículas.

Sim. Compramos alumínio de grau semicondutor — com a composição muito controlada em vestígios de cobre, ferro e silício, pois deles depende o comportamento face às partículas — em fábricas qualificadas, com rastreabilidade total e certificados de fundição. Para câmaras de ataque também conseguimos qualidades resistentes ao plasma, como o 6061-T6 de ultra-alta pureza, ou anodizadas para gerarem menos partículas.

A maquinação de quartzo e de sílica fundida é feita através de parceiros especializados em vidro; cá dentro não maquinamos quartzo. O que fazemos com frequência é maquinar as ferragens metálicas que seguram as peças de quartzo: mandris, armações, grampos e placas de distribuição de gás. Coordenamos os conjuntos de vidro e metal numa única encomenda.

É trabalho corrente para nós. Chassis de alumínio maquinado ou de chapa com juntas de blindagem — lâminas de contacto, elastómero condutor —, ligação elétrica contínua em todas as costuras e construção em gaiola de Faraday quando a aplicação é sensível à radiofrequência. Para o tratamento das superfícies interiores temos tintas e revestimentos condutores, como o níquel químico ou o zinco.

Sim, e é trabalho habitual. As blindagens de câmara de processo, os revestimentos e as peças de sacrifício desgastam-se e têm de ser substituídos de tempos a tempos. Guardamos os ficheiros CAD para as encomendas repetidas e podemos expedir as substituições em duas a três semanas com qualidade constante. Temos alumínio anodizado, inoxidável 316L e revestimentos resistentes ao plasma.

Sim. O acabamento superficial, a rebarbagem e a escolha do material mandam no comportamento das partículas dentro da câmara. Nós especificamos: superfícies granalhadas uniformes, não polidas, pois o polimento pode libertar restos de abrasivo; inoxidável passivado, para retirar o ferro livre; alumínio anodizado, com camada dura que evita a gripagem; e níquel químico nos componentes sensíveis a partículas. Tudo documentado na folha de rota da peça.