Ultrarein. Partikelarm. Fab-fertig. Handhabung nach ISO 8.

Bei Halbleiteraufträgen gehören Reinigung und Verpackung nach ISO 8, also Klasse 100.000, zum Standard. Wird ISO 7, Klasse 10.000, oder mehr verlangt, geben wir die Endreinigung an ausgewiesene Halbleiterreiniger – Partner wie Oneida oder Entegris. Die Teile werden zuletzt mit entionisiertem Wasser gereinigt, mit Isopropanol gespült und in gereinigtem Nylon doppelt eingeschweißt, damit keine Partikel hineinkommen.

Ja. Aluminium in Halbleiterqualität – mit eng gefasster Zusammensetzung bei den Spuren von Kupfer, Eisen und Silizium, denn davon hängt das Partikelverhalten ab – beziehen wir von qualifizierten Hütten, mit lückenloser Rückverfolgbarkeit und Werkszeugnissen. Für Ätzkammern beschaffen wir außerdem plasmafeste Güten wie 6061-T6 in Ultrahochreinheit oder eloxiert, damit weniger Partikel entstehen.

Quarz und Quarzglas lassen wir von spezialisierten Glasbearbeitern fertigen; im eigenen Haus zerspanen wir keinen Quarz. Was wir regelmäßig fertigen, sind die metallischen Halterungen, die Quarzteile tragen: Chucks, Rahmen, Klemmen und Gasverteilerplatten. Baugruppen aus Glas und Metall wickeln wir über eine einzige Bestellung ab.

Für uns Alltagsarbeit. Chassis aus gefrästem Aluminium oder Blech mit Abschirmdichtungen – Kontaktfedern, leitfähiges Elastomer –, durchgehender elektrischer Verbindung über alle Nahtstellen und Aufbau als Faradaykäfig, wo die Anwendung hochfrequenzempfindlich ist. Für die Innenflächen stehen leitfähige Lacke und Schichten bereit, etwa chemisch Nickel oder Zink.

Ja, das ist bei uns laufendes Geschäft. Prozesskammerabschirmungen, Auskleidungen und Opferteile verschleißen und müssen regelmäßig erneuert werden. Wir halten die CAD-Daten für Nachbestellungen vor und liefern Ersatz in zwei bis drei Wochen in gleichbleibender Güte. Eloxiertes Aluminium, Edelstahl 316L und plasmafeste Schichten sind verfügbar.

Ja. Oberflächengüte, Entgraten und Werkstoffwahl bestimmen, wie sich Partikel in der Prozesskammer verhalten. Wir schreiben vor: gleichmäßig glasperlgestrahlte Flächen statt polierter, denn Polieren kann Strahlmittelreste freisetzen; passivierten Edelstahl, um freies Eisen zu entfernen; eloxiertes Aluminium mit Hartschicht gegen Fressen; und chemisch Nickel bei partikelempfindlichen Bauteilen. All das steht im Arbeitsplan des Teils.