فائق النظافة. قليل الجسيمات. جاهز للمصنع. مناولة ISO 8.

نقدّم التنظيف والتغليف وفق ISO 8، أي الفئة 100,000، كأمر معتاد في طلبات أشباه الموصلات. وإن طُلبت نظافة ISO 7، أي الفئة 10,000، أو أعلى، تعاونّا مع متخصصين في تنظيف أشباه الموصلات، كشركاء Oneida وEntegris، للتنظيف النهائي. وتُنظَّف القطع أخيرًا بماء منزوع الأيونات وشطف بالأيزوبروبانول، ثم تُغلَّف في كيسين من النايلون النظيف منعًا لتلوث الجسيمات.

نعم. نورّد ألمنيوم درجة أشباه الموصلات، وهو مضبوط التركيب ضبطًا دقيقًا في آثار النحاس والحديد والسيليكون لأثرها في سلوك الجسيمات، من مصانع مؤهَّلة، مع تتبّع كامل وشهادات المصنع. ولغرف الحفر نورّد أيضًا درجات مقاومة للبلازما مثل 6061-T6 فائق النقاء، أو المؤكسد أنوديًا لتقليل تولّد الجسيمات.

تشغيل الكوارتز والسيليكا المصهورة يجري عبر شركاء متخصصين في تشغيل الزجاج، فنحن لا نشغّل الكوارتز داخليًا. غير أننا نشغّل دائمًا عتاد التثبيت المعدني الذي يحمل قطع الكوارتز، من ملاقط وإطارات ومشابك وألواح توزيع الغاز. وننسّق المجمّعات التي تجمع الزجاج والمعدن في أمر شراء واحد.

هذا مسار عملنا المعتاد: هيكل من ألمنيوم مشغّل أو صفائح معدنية، بحشيات تدريع كهرومغناطيسي من شرائح مشطية أو لدائن مرنة موصِّلة، وربط كهربائي متصل عبر اللحامات، وبناء على هيئة قفص فاراداي للتطبيقات الحساسة للترددات الراديوية. وتتوافر دهانات وطلاءات موصِّلة، كالنيكل اللاكهربائي والزنك، لمعالجة الأسطح الداخلية.

نعم، وهذا عمل دائم عندنا. فدروع غرف المعالجة وبطاناتها والقطع المضحّى بها تبلى وتحتاج إلى استبدال دوري. ونحن نحفظ ملفات CAD للطلبات المتكررة، ونشحن البدائل في أسبوعين إلى ثلاثة بجودة ثابتة. ويتوافر الألمنيوم المؤكسد أنوديًا، والفولاذ 316L، والطلاءات المقاومة للبلازما.

نعم. فالتشطيب السطحي وإزالة النتوءات واختيار المادة، كلها تحكم سلوك الجسيمات داخل غرف المعالجة. ونحن نشترط: أسطحًا مسفوعة بالخرز سفعًا منتظمًا، لا مصقولة فقد تطلق حبيبات الخرز؛ وفولاذًا مخمَّلًا يُنزَع عنه الحديد الحر؛ وألمنيومًا مؤكسدًا أنوديًا بطبقة صلبة تمنع الاحتكاك اللاصق؛ وطلاء نيكل لاكهربائيًا للقطع الحساسة للجسيمات. وكل ذلك موثّق في بطاقة مسار القطعة.